試験機としては非常に有効な３波長の発振が可能な超短パルス レーザー光源を使用し、各波長用のガルバノスキャナを配置することで、何れの波長でもプロセス評価が可能なため検証用として非常に有効な構成です。

※ガルバノスキャナの構成以外にも対物レンズ構成や各種焦点距離の集光レンズなどの組合せにも対応しています。対物レンズ構成では、電動レボルバ仕様に対応しており、倍率自動補正する機能を提供してます。